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　　為了驗證所施加的軸向振動工件被研磨的表面特征，在新的研玻璃鑽孔制的立式平面研磨拋光機設備上，會對氧化鋯陶瓷以及高強度炮鋼進行粗精密研磨試驗。

　　砂輪的徑向振動與油石向著振動研磨材料加工出的工件表面，徑向平面研磨拋光機振動磨粒所刻劃的工件表面呈現貝殼狀的破碎，會產生這種破碎的原因主要是由 於磨粒會在普通的加工基礎上，磨粒出現周期性的著呢東會對底部造成不斷的衝擊，當磨粒的衝擊應力超過了所加工工件材料的斷裂極限的時候，會出現徑向裂紋急 劇擴展的現像，會在磨粒的便捷橫向裂紋不斷的向著工件表面延伸，出現工件表面脫落現像。

　　當油石的軸向施加超聲振動的時候，磨粒的切深並不會因為振動的施加而變得更大，磨粒所刻劃的底部很難發現出現裂碎的現像。

　　但是由於磨粒的軸向振動，會使磨粒對垂直於其運動方向上所隆起的溝槽壁會產生不斷的衝擊，磨粒在壓入和運動的時候會形成橫向裂紋，在衝擊作用下會延伸到 工件的表面，形成工件表面破碎與脫落的現像，會最終形成比較寬的加工痕，此外，在磨削的溝槽底部會出現微小痕跡，在軸向加工的時候，磨粒會對磨削的溝槽邊 沿衝擊的時候痕跡清晰可見。

　　在軸向振動的時候，被研磨的工件表面會由於磨粒的切深不變，使得粗糙度數值要比橫向施振的時候要好，但是由於振動的加入會使磨粒在壓入的時候其切削力要比普通的磨削力好小很多。

　　超聲平面研磨效率要比一般的研磨要高很多，這主要是由於軸向振動的時候每顆磨粒的加工寬度要比普通的研磨增加很多，會導致切削的體積增加。